SemiProcess MCP Server

반도체 공정 관리용 MCP(Model Context Protocol) 서버입니다. 불량 해결, 공정조건 표준화, 공정 모니터링 관련 8개 MCP Tool을 제공합니다.

요구사항

• MCP 사양 버전: 2025-03-26 이상

• Streamable HTTP (SSE) 지원

• Stateless FastAPI 서버

• Python 3.11+, FastAPI, mcp 라이브러리

• 공개 URL 배포 가능

설치

pip install -r requirements.txt

실행

export PORT=8000  # 필요 시 변경
uvicorn src.server:app --host 0.0.0.0 --port ${PORT}

엔드포인트

• GET /health : 상태 확인

• GET|POST /mcp : MCP 엔드포인트 (SSE 포함)

• GET / : 서비스 메타 정보

제공 Tool 목록

불량 해결

1. analyze_defect(defect_code, process_step, wafer_id?)

2. get_defect_history(defect_type, date_range?)

3. suggest_corrective_action(defect_code, equipment_id, current_conditions)

공정조건 표준화 4. get_standard_recipe(process_type, layer) 5. compare_recipe(process_type, current_recipe{layer, ...}, equipment_id) 6. validate_process_window(process_type, parameters{layer, ...})

데이터 모니터링 7. get_process_metrics(equipment_id?, process_type?, time_range) 8. check_spc_status(parameter_name, equipment_id, chart_type)

모든 Tool의 content는 text/markdown(TextContent)으로 반환합니다. 각 Tool 입력은 JSON Schema로 정의되어 있으며 MCP Inspector에서 자동 인식됩니다.

Mock 데이터

• 불량 코드: PARTICLE, SCRATCH, PATTERN_DEFECT, CD_VARIATION, OVERLAY_ERROR

• 공정: Etch, CVD, PVD, Lithography, CMP, Ion Implant

• 장비: ETCH-01, CVD-02, LITHO-03 등

• 파라미터: 온도(°C), 압력(mTorr), RF Power(W), Gas Flow(sccm) 등

MCP Inspector 테스트

1. 서버 실행 후 MCP Inspector를 열고 HTTP Transport를 선택합니다.

2. URL에 http://<host>:<port>/mcp 입력 후 연결합니다.

3. Tool 목록이 표시되며, 입력 스키마에 따라 호출할 수 있습니다.

Docker 빌드/실행

docker build -t semiprocess-mcp .
docker run -p 8000:8000 -e PORT=8000 semiprocess-mcp

Vercel 배포

1. vercel.json 및 api/index.py가 포함되어 있습니다.

2. Vercel 프로젝트에서 Python Runtime(3.11) 사용.

3. 환경 변수 필요 시 Vercel Dashboard에 등록.

4. 배포 후 엔드포인트:

   • GET /health

   • GET|POST /mcp

로깅

• 기본 INFO 레벨, 포맷: %(asctime)s %(levelname)s %(name)s - %(message)s

• 예외 발생 시 스택 트레이스가 로그에 남습니다.